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氮化铪薄膜的磁控溅射制备及表征方法
发表日期:2017年7月5日  发布人:俞珊珊  阅读 32 次       

报告主题: 氮化铪薄膜的磁控溅射制备及表征方法
报 告 人: 顾志清
职      务:
职      称: 讲师
工作单位: 嘉兴学院机电工程学院
报告时间: 2017年6月30日
报告地点: 14号楼303会议室
参加人数: 15
主办单位: 机电工程学院
报告简介:

本报告简要介绍了氮化铪薄膜的磁控溅射制备及表征方法。我们利用磁控溅射制备了氮化铪薄膜,通过UV-Vis-NIR光度计、四点探针、Hall测试仪、纳米压痕、透射电镜、扫描电镜、拉曼、x射线衍射、x射线光电子能谱等一系列实验开展了氮化铪薄膜的结构辨认与光学、电学、力学性质的研究。

 


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